ウェハ硬化ランプ用反射器

Wed, 22 Jul 2026 04:35:08 +0800

ウェーハの硬化処理におけるランプの故障対応
高負荷でウェーハの硬化処理を行っていると、ランプが壊れるというのは単なる面倒事や少しの停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。
もし石英管が破裂すれば、ガラスの破片やハロゲン成分がシリコン表面に降り注ぎます。そうなると、そのロット全体が台無しになってしまいます。本当に大変です。
だからこそ、専用の安全反射器システムを使用しています。これは、ウェーハを保護するための「保険」のようなものです。

赤外線ランプ用アルミニウム反射板

Sat, 18 Jul 2026 03:57:37 +0800

熱の無駄遣いをやめよう：なぜIR照明にはより良い反射板が必要なのか
正直に言って、半導体工場では、無駄になる熱というのは、単なるお金や二酸化炭素の無駄遣いに他なりません。もしIRランプから出る熱が機械の筐体内に漏れてしまっているなら、それは無駄な努力に過ぎません。
解決策は思ったよりも簡単です。アルミニウム製の反射板を使って、漏れ出す熱を再びウェーハに送り返すのです。そうすることで、散乱していた熱を集中したビームに変えることができます。これにより、電力代を削減し、「グリーンファクトリー」という概念を実現できるのです。
論理はとてもシンプルです。
通常のランプは、360度四方に熱を放出します。反射板がなければ、エネルギーの半分がターゲットに到達する前に失われてしまいます。
高純度のアルミニウムを使用する理由は、短波～中波のIR光を効果的に反射できるからです。石英ランプと精密に曲げられたアルミニウム製のケースを組み合わせることで、失われたエネルギーを取り戻すことができます。そうすることで、ワット数を上げることなく、表面の熱密度を大幅に高めることができます。これは双方にとって有益です。
しかし、問題は単に反射だけではありません。
アルミニウムは熱を移動させるのに優れています。ランプの端から熱を引き離すことで、ソケットが壊れるのを防ぎます。また、軽量なので、高温になっても変形したり曲がったりしません。
ただし、アルミニウムは湿度や腐食性ガスを嫌います。酸化しやすいのです。時間が経つにつれて、その薄い酸化膜が反射率を低下させてしまいます。効率が低下してきたら、清掃を行うか、アノダイズ処理されたコーティングに交換する時期です。
全体としては？
炭素中立を目指すなら、「1ウェーハあたりのワット数」を下げる必要があります。反射板の形状を最適化すれば、ランプの温度を下げても、プロセスの速度を維持することができます。
そして最も良い点は、温度が下がることで、ランプの寿命が延び、施設の冷却装置の負担も大幅に軽減されるということです。これは単純な機械的な調整によって、1サイクルあたりの消費電力を削減できるということです。まさに賢いエンジニアリングです。

反射器 on Professional IR Heating Lamps

ウェハ硬化ランプ用反射器

赤外線ランプ用アルミニウム反射板