http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/tags/%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B6%E3%83%BC/ Recent content in レーザー on Professional IR Heating Lamps Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 05:51:26 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/semiconductor-laser-diode-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:51:26 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/semiconductor-laser-diode-heater/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="半導体レーザーダイオードヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストの焼成処理は決して手を抜くべきではありません。ソフトベイクやハードベイク時に1℃でも温度が変動すると、ウエハの重要な寸法が変わり、側壁の形状も乱れてしまいます。また、ウエハに熱的不均一性が生じると、歩留まりの低下や再加工が必要になり、最悪の場合は全ロットが廃棄されてしまいます。私たちは、半導体レーザーダイオードヒーターを開発し、ウエハの温度を±0.1℃以内に保つようにしています。これが、プロセスの許容範囲です。</p>