http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/tags/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AC%E3%82%B8%E3%82%B9%E3%83%88/ Recent content in フォトレジスト on Professional IR Heating Lamps Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 05:04:05 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 05:04:05 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="フォトレジストソフトベイクランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、フォトレジストの形状を固定し、溶剤を除去し、次の工程での線幅制御のための条件を整える<a href="https://henruite.com">重要</a>なステップです。ランプの性能が低下し始めると、すぐにわかります。エッジ部分で不均一な加熱が起こったり、界面付近で問題が発生したりして、計測装置が異常を<a href="https://o-yate.com">検出</a>する前にウェーハが破損してしまいます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、特別なソフトベイク用ランプを開発しました。</p>