http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェハー on Professional IR Heating Lamps Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:14 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ乾燥用ハロゲン赤外線エミッター"></p> <p>300 mmラインでは、スピンドライヤーのサイクルが終了してもウェハはまだ濡れている─凹凸部に水が残り、エッジに水滴が付着している。従来のホットプレートで加熱すると、温度上昇が遅く不均一になり、水滴が残るリスクがある。素早くエアブローで吹き飛ばそうとすれば、粒子を招く可能性がある。どちらにせよ、次のリソグラフィ層は微小な汚染物質1つで歩留まりに影響を与える。</p> http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/ja/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハIRの高精度加熱"></p> <p>ファブフロアでは、リソグラフィクラスターは止まることなく稼働し続ける。トラックはウェーハを供給し、レジストは回転し、エッジビードが除去され、ベークは厳密な熱ウィンドウ内で行わなければならない——すべての通過で。ソフトベークやハードベーク中に1℃のドリフトがあると、クリティカルディメンションが変動し、スイングカーブがずれ、投与量マージンが減少する。ベークモジュールがウェーハ全体で均一性を維持できない場合、その影響はすぐに現れる：フッティング、スカミング、そして電気テストビンに現れる歩留まり低下だ。</p>