Riscaldatore per essiccazione dei wafer dopo la CMP
Durante la fase di lavaggio post-CMP, rimangono delle micro-gocce d’acqua sul wafer; queste, se il processo di essiccazione non è corretto, possono...
Lampada per l essiccazione dei wafer delle celle solari
Nelle linee di produzione per wafer solari, la fase di essiccazione non è semplicemente un processo passivo da verificare: rappresenta infatti...
Elemento riscaldante per ossidazione dei wafer
Nelle fabbriche di produzione, si impara presto che piccole variazioni di temperatura possono trasformarsi in problemi seri. Una variazione di 0,5°C...
Riscaldamento per assottigliamento dei wafer a infrarossi
Nel processo di sottilizzazione dei wafer, questa operazione è estremamente sensibile alle variazioni di temperatura. Il silicio sottile si crepa...
Emettitore IR alogeno per l asciugatura dei wafer
Sulla linea da 300 mm, il ciclo di asciugatura per centrifuga si interrompe e il wafer è ancora bagnato—acqua intrappolata nelle caratteristiche,...
Calore ad alta precisione per wafer IR
Sul piano di produzione, il cluster di litografia continua a funzionare senza pause. Il tracciato alimenta il wafer, il resist ruota, il bordo viene...