Lampada RTP di alta qualità per fabbrica

Sun, 07 Jun 2026 03:51:39 +0800

Sulla linea di produzione, il budget termico non è una linea guida: è un limite invalicabile. Un grado fuori dal conto nella soft bake o hard bake, e il profilo del fotoresist cambia. Il controllo della CD deriva. L’errore di sovrapposizione aumenta. Presto, la linea non distingue più i die buoni dallo scarto; distingue solo i problemi.

Cosa conta davvero sotto il cofano
Questa lampada RTP utilizza il riscaldamento a alogeni a onde corte attraverso un assemblaggio con finestra di quarzo. L’energia si trasferisce direttamente al wafer, rapidamente, con minima inerzia termica. Questo garantisce un’uniformità a livello di wafer mantenuta entro ±0,1°C nell’intervallo del processo, e una ripetibilità che resta all’interno delle tolleranze tra cicli di lavorazione. Il sistema è compatibile con camere bianche fino a Class 1–100, senza generazione di particelle, verificato tramite monitoraggio in-situ e un percorso lampada/riflettore sigillato. Il controllo è in closed-loop, con piro-mettria calibrata per mantenere la stabilità del punto di set anche al variare del carico del batch.

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Lampada RTP di alta qualità per fabbrica