Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS
Fermare i frammenti: mantenere pulite le wafer durante il processo di essiccazione a infrarossi
Se si produce sensore MEMS, si sa bene che è proprio...
Riscaldatore per essiccazione dei wafer dopo la CMP
Durante la fase di lavaggio post-CMP, rimangono delle micro-gocce d’acqua sul wafer; queste, se il processo di essiccazione non è corretto, possono...
Lampada per l essiccazione dei wafer delle celle solari
Nelle linee di produzione per wafer solari, la fase di essiccazione non è semplicemente un processo passivo da verificare: rappresenta infatti...