Lampada a infrarossi per imballaggi avanzati

Tue, 02 Jun 2026 06:06:46 +0800

Sulla linea di packaging avanzato, il budget termico è estremamente ristretto. Una variazione di 2°C durante la cottura del fotoresist può compromettere le dimensioni critiche, e il costo della rilavorazione si misura in wafer scartati. Abbiamo realizzato questa lampada a infrarossi per mantenere stabile quel vincolo termico—entro le specifiche, ciclo dopo ciclo.

Cosa conta nel dettaglio
Utilizza emettitori nel vicino infrarosso (NIR) per un riscaldamento rapido e diretto con risposta nell’ordine del secondo. Nell’area di cottura, l’uniformità a livello wafer si mantiene a ±0,1°C, quindi i profili di soft bake e hard bake restano ripetibili lotto dopo lotto. È compatibile con camere bianche Class 1–100, senza generazione di particelle e con un assemblaggio sigillato a bassa emissione di gas. L’output rimane stabile per oltre 5.000 ore, con una deriva di intensità inferiore al 5%—garantendo così coerenza nel budget termico attraverso le tue pile di litografia.

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Lampada a infrarossi per imballaggi avanzati