Come mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita
Quando si riscalda un substrato in un ambiente di classe 100, non c’è spazio per errori. Anche una piccolissima quantità di polvere o dei composti volatili può rovinare l’intero lotto di prodotti.
Il problema è che la maggior parte delle lampade a infrarossi standard produce molto rumore e rilascia sostanze volatili organiche. Abbiamo trovato una soluzione utilizzando tubi in quarzo sintetico ad altissima purezza.
Perché il quarzo sintetico è importante
Abbiamo evitato l’uso del quarzo naturale e abbiamo scelto invece il silicio sintetico ad alta purezza. Il quarzo naturale contiene impurità metalliche che, quando la lampada si riscalda, tendono a migrare verso la superficie. In pratica, la lampada “fuma”, il che rappresenta un grosso problema per i wafer.
Per evitare questo problema, i nostri tubi vengono sottoposti a un processo chimico intensivo per eliminare ogni tipo di impurità. Quando questi tubi vengono collegati al sistema, forniscono un calore intenso senza causare contaminazioni. Le lenti rimangono pulite e i wafer restano integri.
Il segreto sta nella chiusura
La maggior parte delle lampade presenta problemi legati alla chiusura. Molti produttori utilizzano adesivi organici o collanti economici, ma questi rilasciano sostanze volatili non appena la lampada raggiunge la temperatura di funzionamento. Noi invece utilizziamo sistemi di chiusura in vetro e metallo ad alta temperatura, in modo da trattenere il gas all’interno del tubo e impedire l’ingresso di sostanze esterne. Possiamo modificare le dimensioni dei connettori per adattarli a qualsiasi tipo di struttura, ma è proprio la chimica presente all’interno del tubo a garantire risultati ottimali.
Qualche avvertimento
Il quarzo sintetico è chimicamente inerte, ma è estremamente sensibile agli oli presenti sulla superficie. Se il personale tocca il tubo con le mani nude durante l’installazione, i sali e gli oli presenti sulla pelle possono causare problemi. Questi problemi possono portare alla rottura del tubo. Assicuratevi che tutti indossino guanti anti-polvere e utilizzino alcol isopropilico per pulire le superfici. Inoltre, fate attenzione al sistema di raffreddamento: poiché queste lampade sono progettate per funzionare con grande precisione, il flusso di calore è elevato. Verificate bene i ventilatori o i sistemi di raffreddamento. Se il contenitore si surriscalda, avrete dei problemi.