http://ir-heat-lamp-pro.com/id/tags/halogen/ Recent content in Halogen on Professional IR Heating Lamps Hugo id Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/id/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/id/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Pemancar IR halogen untuk pengeringan wafer"></p> <p>Pada lini 300 mm, siklus spin dryer menurun dan wafer masih basah—air terperangkap di fitur, air menggumpal di tepi. Jika menggunakan hot plate konvensional, risiko yang muncul adalah pemanasan lambat dan tidak merata yang meninggalkan gumpalan air. Jika menggunakan tiupan udara cepat, risiko partikel masuk meningkat. Dalam kedua kasus, lapisan lithography berikutnya hanya berjarak satu mikro kontaminan dari penurunan hasil produksi.</p> <p>Pengeringan wafer bukanlah “opsional.” Ini adalah langkah penghilangan kelembaban yang dikontrol dengan profil termal yang harus dapat diulang, bersih, dan mempertimbangkan biaya. Dalam proses photoresist, kelembaban sisa mengganggu proses soft bake dan hard bake, sehingga kontrol dimensi kritis dan profil dinding samping mulai terganggu. Sumber panas harus mencapai suhu dengan cepat, tetap merata di seluruh wafer, dan tidak menambah kontaminasi.</p>