http://ir-heat-lamp-pro.com/he/tags/%D7%9E%D7%A9%D7%93%D7%A8/ Recent content in משדר on Professional IR Heating Lamps Hugo he Mon, 01 Jun 2026 02:30:16 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/he/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ Mon, 01 Jun 2026 02:30:16 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/he/posts/halogen-ir-emitter-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מפיץ IR הלוגני לייבוש וופרים"></p> <p>בקו ה-300 מ&quot;מ, מחזור ייבוש הספין מסתיים והוופרט עדיין רטוב—מים כלואים בתכונות, מים מצטברים בקצוות. חימום עם פלטה חמה קונבנציונלית עלול לגרום לעלייה איטית ולא אחידה בטמפרטורה שמשאירה טיפות מים. שימוש בניפוח אוויר מהיר מזמין חלקיקים. בכל מקרה, השכבה הבאה בתהליך הליתוגרפיה נמצאת במצב שבו מיקרו-זיהום אחד יכול לפגוע בתפוקה.</p> <p>ייבוש הוופרט הוא לא &ldquo;תוספת נחמדה&rdquo;. זו שלב של הסרת לחות מבוקרת עם פרופיל תרמי שחייב להיות ניתן לשכפול, נקי ומודע לעלות. בתהליך עיבוד הפוטורזיסט, לחות שנותרה משפיעה על הבייק הרך והבייק הקשה, ומתחילים לסטות לשליטה במימד הקריטי ובפרופיל הקיר הצדדי. מקור החום חייב להגיע לטמפרטורה במהירות, לשמור על אחידות על פני הוופרט, ולא להוסיף זיהום.</p>