http://ir-heat-lamp-pro.com/he/tags/%D7%9C%D7%99%D7%98%D7%95%D7%92%D7%A8%D7%A4%D7%99%D7%94/ Recent content in ליטוגרפיה on Professional IR Heating Lamps Hugo he Sun, 21 Jun 2026 06:19:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/he/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Sun, 21 Jun 2026 06:19:15 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/he/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="נורת חימום לליתוגרפיה של קנון"></p> <p>בשטח הייצור, ניתן לשלוט בעובי שכבת הפוטורזיסט במהלך תהליך החימום – אין אפשרות להתעלם מהגורמים האלו. שינויים של מספר מעלות במהלך החימום יגרמו לשינויים מהירים בתוצאות הייצור: שדה החשיפה יהיה לא אחיד, וה-CDs ינועו במהלך התהליך. נורות החימום של חברת <a href="https://o-yate.com">Canon</a> מותאמות לעובדה זו – הן מווסתות את החום בצורה מדויקת, כך שהתהליך יישאר בגבולות המותרים, לאורך כל סדרות הייצור.</p> <h3 id="מה-חשוב-באמת">מה חשוב באמת?</h3> <p>הנורה מספקת חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום, ברמת אחידות של פחות ממילימטר אחד – דבר שמאפשר שדה חום יציב על פני הוואפר. גאומטריה זו חשובה, מכיוון שהיא מונעת סטיות בין הקצוות למרכז, ושומרת על שדה החום בתוך הגבולות המותרים. האחידות בתהליך נשמרת בזכות גאומטריה מדויקת של החוטים ובזכות ביצועים יציבים של הקוורץ. התוצאה: פרופילי חימום צפויים, שמגנים על הממדים החשובים ומונעים צורך בתיקונים.</p>