Arrêtez de laisser vos chauffages gâcher vos couches de matériau. Dans une salle propresse de classe 100, il suffit d’une seule particule de...

Arrêter les éclats : garder vos wafer propres pendant le séchage par infrarouges Si vous produisez des capteurs MEMS, vous savez que c’est pendant...

Lors du lavage post-CMP, des micro-gouttelettes restent sur la surface de la pâte photorésistive. Ces gouttelettes peuvent se transformer en défauts...

Sur la ligne de production, le séchage des wafers n’est pas une simple étape passive à vérifier ; c’est plutôt la dernière étape thermique avant que...

Sur la ligne 300 mm, le cycle de séchage par essorage ralentit et la plaquette est encore humide — de l’eau piégée dans les reliefs, des gouttes...