Bouclier en verre quartz pour lampe fab

Sat, 06 Jun 2026 04:02:22 +0800

Sur le plancher de production, la cuisson du photoresist n’est pas une étape comme une autre. C’est la barrière critique. Une seule déviation de température, un seul événement particulaire, et vous pouvez perdre beaucoup de wafers. Nous avons conçu un blindage en verre quartz pour les lampes de la fab afin de maintenir cette barrière fermée, poste après poste.

Ce qui compte sous le capot
Il s’agit de quartz fondu de haute pureté, choisi pour sa transmission stable dans l’IR à ondes courtes et moyennes, et pour sa faible émission gazeuse dans l’air de salle blanche. Le blindage stabilise la sortie des lampes tout en protégeant le filament et l’optique contre les dérives de dépôt et les particules. Sur l’ensemble du wafer, l’uniformité thermique reste maintenue, ce qui garantit que les plages de cuisson douce et de cuisson dure soient respectées, avec un contrôle du profil reproductible. Il fonctionne en environnements Class 1–100 sans augmenter le nombre de particules, et sa conception supporte les cycles thermiques rapides sans micro-fissuration.

Bouclier on Professional IR Heating Lamps

Bouclier en verre quartz pour lampe fab