Comment maintenir votre salle propre de classe 100 vraiment propre
Lorsque vous chauffez un substrat dans un environnement de classe 100, il n’y a pas de place pour l’erreur. Un seul petit grain de poussière ou une légère émission de gaz peut détruire toute la production.
Le problème, c’est que la plupart des lampes infrarouges standard génèrent beaucoup de saletés. Elles libèrent des débris microscopiques ou des composés organiques volatils dès qu’elles sont chauffées. Nous avons trouvé une solution en utilisant du quartz synthétique à très haute pureté.
Pourquoi le quartz synthétique est important
Nous avons choisi du silice synthétique à haute pureté plutôt que du quartz naturel. Le quartz naturel contient des impuretés métalliques qui migrent vers la surface lorsque la température augmente. Cela revient à dire que la lampe “fume”, ce qui est désastreux pour vos wafer.
Pour éviter cela, nos tubes en quartz synthétique subissent un processus de purification chimique rigoureux afin d’éliminer toutes les impuretés. Ainsi, vous obtenez une chaleur intense sans aucune contamination. Vos lentilles restent propres, et vos wafer restent intacts.
Le secret réside dans le système de fermeture
La plupart des lampes échouent au niveau de leur système de fermeture. De nombreux fabricants utilisent des adhésifs organiques ou des colle bon marché, mais ceux-ci libèrent des gaz dès que la lampe atteint sa température de fonctionnement.
Nous, nous utilisons plutôt des systèmes de fermeture en verre/métal résistants à haute température. Cela permet de garder le gaz halogène à l’intérieur du tube et d’empêcher toute contamination extérieure. Nous pouvons adapter les connecteurs pour qu’ils conviennent au rack que vous utilisez déjà, mais c’est la composition chimique interne qui est vraiment décisive.
Quelques conseils
Le quartz synthétique est chimiquement inerte, mais il est très sensible aux graisses présentes sur la surface. Si votre équipe touche le tube avec les mains nues pendant l’installation, les sels et les huiles présents sur leurs mains créeront des points chauds. Ces points chauds provoquent des tensions thermiques, ce qui finit par endommager le tube. Évitez cela en utilisant des gants sans poussière et en nettoyant avec de l’alcool isopropylique.
Faites également attention au refroidissement. Comme ces lampes sont conçues pour une précision extrême, le flux d’énergie est très élevé. Vérifiez bien que vos ventilateurs ou joints d’eau fonctionnent correctement. Si le boîtier surchauffe, vous avez un problème.