در خط تولید، فرآیند حرارت دادن فوتورزیست، صرفاً یک مرحله عادی نیست؛ بلکه یک فرآیند حرارتی ضروری است. اگر در طول فرآیند حرارت دادن، دما ۲ درجه...

On the fab floor, the photoresist bake isn’t just another step. It’s the gate. One temperature excursion, one particle event, and you can lose a lot...