Dejen de permitir que sus calentadores dañen sus wafers
En una sala limpia de clase 100, basta con una sola partícula de polvo para arruinar todo un lote de wafers. Es una pesadilla. La mayoría de los calentadores convencionales son parte del problema: emiten gases o desprenden partículas microscópicas justo donde no se quieren.
Por eso utilizamos lámparas de cuarzo sintético de alta pureza. Estas lámparas utilizan calor radiativo, lo que significa que no hay aire forzado que transporte contaminantes por toda la superficie de los sustratos. Es simplemente calor puro y directo.
De qué está hecho
Utilizamos sílice fundida con niveles extremadamente bajos de impurezas. ¿Por qué? Porque esto evita que el tubo de cuarzo se dañe o se rompa cuando se calienta. A diferencia de esos calentadores revestidos de metal, que se oxidan y se desgastan con el tiempo, el cuarzo permanece intacto. También utilizamos un sistema de halógenos sellado al vacío para mantener el filamento en su lugar. Esto hace que las lámparas duren mucho más tiempo, así que no es necesario abrir constantemente la sala limpia para reemplazarlas cada pocas semanas. Eso significa menos posibilidades de que ocurran fallos.
Cómo funcionan
Estas lámparas se calientan y enfrían rápidamente. Se genera mucha calor en un espacio muy pequeño. Dado que se trata de calor radiativo, este llega directamente al material a calentar, evitando así que el resto del equipo se sobrecaliente. Puede conectarse directamente a los sistemas de control existentes, utilizando SCR de precisión para mantener las temperaturas estable.
Un consejo rápido: si aumenta la potencia de las lámparas para acelerar el proceso de secado, tenga cuidado con los soportes de las lámparas. Toda esa energía genera mucho calor. Asegúrese de que los soportes puedan resistir ese calor para que no se deformen.
Integración en su planta de producción
Si todavía utiliza un sistema de convección tradicional, estas lámparas son una excelente alternativa. Al pasar a utilizar lámparas IR, puede prescindir de los soplantes con filtro HEPA en la zona de calentamiento. Sus tuberías se vuelven más simples, hay menos partes que pueden fallar en la cámara de vacío, y la velocidad de producción aumenta. Es simplemente una forma más eficiente de trabajar.