Heizgerät für Reinraumwagen in der Halbleiterindustrie

Sun, 28 Jun 2026 05:41:17 +0800

In der Fertigungsstätte weiß man ja, wie schnell Temperaturschwankungen auf dem Transportwagen mit dem Photoresist zu Schwankungen in der Dicke der Linien führen können. Eine ungenaue Erwärmung kann dazu führen, dass ganze Chargen vernichtet werden müssen. Deshalb haben wir einen Heizer für den Reinraum entwickelt, der diese Unregelmäßigkeiten ausmerzt. Er hält die gesamte Charge bei einem konstanten Temperaturwert – dadurch erhält der Photoresist in jedem Verarbeitungsschritt dieselben Bedingungen.

Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen Kurzwellinfrarot-Elemente, um eine schnelle, gezielte Erwärmung ohne viel Luftbewegung zu erreichen. Die thermische Gleichmäßigkeit auf der Waferfläche bleibt dabei bei ±0,1 °C – die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,05 °C von Batch zu Batch. Die Steuerung der Temperatur erfolgt mit einer Geschwindigkeit von maximal 2 °C/s; außerdem wird ein stabiles Temperaturprofil gewährleistet. Der Heizkörper ist für Reinräume der Klasse 1–100 konzipiert: Es werden Materialien verwendet, die wenig Gase abgeben, die Schweißstellen sind sauber und die Oberfläche ist so gestaltet, dass keine Partikel abfallen. Dadurch bleibt die Anzahl der Partikel im üblichen Rahmen.

Wagen on Professional IR Heating Lamps

Heizgerät für Reinraumwagen in der Halbleiterindustrie