Lampe zum Trocknen von Solarzellwafeln

Tue, 23 Jun 2026 00:04:18 +0800

Bei der Trocknung von Wafern ist dies keine rein passive Prozessschritte – es handelt sich dabei vielmehr um die letzte Wärmebehandlung, bevor die Struktur der Wafer festgelegt wird. Selbst geringe Mengen an Feuchtigkeit oder Abweichungen im Trocknungsprozess können dazu führen, dass sich die Oberfläche des Photoresists verändert oder dass es zu Dimensionsschwankungen kommt. Die Trocknungsleuchten für Solarzellen sind dafür konzipiert, solche Schwankungen auszuschließen.

Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen NIR-Emiter, um Energie schnell und direkt in die Wafer zu übertragen. Dadurch wird eine Verzögerung durch Wärmeübertragung vermieden und das Prozessfenster bleibt stabil. Das System gewährleistet eine Homogenität der Temperatur im aktiven Bereich von ±0,1 °C – dadurch bleiben die kritischen Trocknungsbedingungen immer konstant. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist ebenfalls ein wichtiger Aspekt: In Umgebungen der Klasse 1–100 entstehen keine Partikel durch die Leuchte. Zudem ist die Konstruktion der Quarz-/Reflektoreinheit so gestaltet, dass keine Gase freigesetzt werden, die den Photoresist kontaminieren könnten. Die Leistung der Leuchte bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit weniger als 5 % Intensitätsabweichungen. Das bedeutet weniger Nachjustierungen und weniger unplanmäßige Stillstände.

Solarenergie on Professional IR Heating Lamps

Lampe zum Trocknen von Solarzellwafeln