Stets sauber – Heizung ohne Kontamination
Stellen Sie sich einen Reinraum vor, in dem selbst ein einziger Staubkorn ein Problem darstellt. Das ist die Realität in der Halbleiterherstellung. Wenn also Wärme in solchen Umgebungen benötigt wird, darf der Heizer selbst nicht zur Quelle von Problemen werden. Deshalb haben wir unsere Quarzkohlenstoffinfrarotlampen als vollständig abgeschlossenes, inertes System entwickelt. Sie liefern intensive, gezielte Wärme – ohne dass dabei Partikel freigesetzt oder Gase ausgestoßen werden.
Leistung und Größe – entwickelt für echte Maschinen
Wir konzipieren diese Lampen so, dass sie in engen Räumen Platz finden und mit den bereits vorhandenen Geräten zusammenarbeiten können. Eine typische Lampe arbeitet bei 400 V und 2500 W und ist in einem 300 mm langen Gehäuse untergebracht. Dadurch entsteht eine hohe Wärmemenge auf kleinem Raum – somit kann die Temperatur schnell erhöht werden, wenn es im Prozess erforderlich ist. Die Spannung von 400 V ist kein Zufall – dadurch kann die Lampe direkt an das Standardindustriestromnetz angeschlossen werden. Dadurch muss man keine großen Transformatoren verwenden.
Der Kern aus hochreinem Quarz
Der Kern der Lampe besteht aus hochreinem Quarz. Im Gegensatz zu Metallen bleibt Quarz auch bei extremen Temperaturen chemisch inaktiv – er oxidiert nicht und erzeugt keine Partikel. Im Inneren der Lampe gibt es eine Kurzwelleninfrarotfaser, die schnell und gezielt Energie abgibt. Das gesamte Gerät wird außerdem mit einem speziellen R7s-Anschluss verschlossen – dadurch bleibt die Lampe in einer festen Position. Dadurch bleiben die Abstände präzise, und die Lampe biegt sich nicht, wodurch das Quarzglas nicht beschädigt werden kann.
Für die Halbleiterherstellung – ein Ersatz ohne Kompromisse
Für die Heizung in der Halbleiterherstellung muss das System einfach zu bedienen sein und eine perfekte Temperaturregulierung ermöglichen. Der Quarzkern kann thermischen Schocks gut standhalten – dadurch kann er mit den schnellen Ein-/Ausschaltvorgängen umgehen, die bei der Serienproduktion notwendig sind. Da Infrarotstrahlung das Zielobjekt direkt erwärmt – anstatt die umgebende Luft – gibt es weniger Luftbewegung. Dadurch wird verhindert, dass Partikel aufgewirbelt werden. Mit dieser Leistungsdichte kann viel Energie in einem 300 mm großen Gehäuse gespeichert werden. Daher müssen die Kühl- und Thermomanagement-Systeme der Maschine ebenfalls geeignet sein. So bleibt die Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – und Keime kommen gar nicht erst in die Nähe.