http://ir-heat-lamp-pro.com/cs/tags/plo%C5%A1n%C3%BD-spoj/ Recent content in Plošný Spoj on Professional IR Heating Lamps Hugo cs Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/cs/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Sun, 31 May 2026 04:51:34 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/cs/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Vysoce přesné teplo pro IR wafer"></p> <p>Na výrobní lince lithografický klastr nepřetržitě běží, žádné tlačítko pauzy neexistuje. Transportní systém podává wafer, rezist se otáčí, okrajová vrstva se odstraňuje a tepelné vypalování musí proběhnout v úzkém teplotním okně – při každém průchodu. Posun o 1°C během měkkého nebo tvrdého vypalování změní kritickou dimenzi, naruší křivky kmitání a zmenší dávkovou rezervu. Když vypalovací modul nedokáže udržet uniformitu po celé ploše waferu, projeví se to rychle: tvorba podložky, zbytky rezistu a pokles výtěžnosti, který je vidět přímo ve vyhodnocovacích elektrických testech.</p>