http://ir-heat-lamp-pro.com/cs/tags/oxidace/ Recent content in Oxidace on Professional IR Heating Lamps Hugo cs Fri, 19 Jun 2026 06:06:06 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/cs/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Fri, 19 Jun 2026 06:06:06 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/cs/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Žárovka pro oxidaci waferu"></p> <p>V továrně na výrobu <a href="https://o-yate.com">polovodi</a>čů rychle pochopíte, že i malé odchylky teploty mohou vést k velkým problémům. Odchylka o 0,5 °C během procesu oxidace může negativně ovlivnit integritu oxidové vrstvy na povrchu polovodiče. V litografii způsobuje i nepatrná odchylka teploty během procesu zahřívání změny šířky čar na obrazci. Termální reprodukovatelnost není jen výhodou – je to součást samotného procesu.</p> <p><strong>Co je opravdu důležité</strong> Pro proces oxidace používáme vyzařovače krystalů kvartzu v infračerveném spektru – mají rychlou odezvu a nízkou termickou hmotnost. Systém udržuje konstantní teplotu ±0,1 °C po celé ploše polovodiče, a systém regulace teploty udržuje nastavenou hodnotu i při změnách zátěže. Tento systém se hodí do čistých prostor třídy 1–100 – <a href="https://henruite.com">materi</a>ály a komponenty jsou vybrány tak, aby se minimalizovala tvorba částic a uvolňování plynů. Proces zahřívání fotorezistu probíhá v úzkých tolerancích, čímž se chrání kritické rozměry polovodiče a snižují se defekty.</p>