V prostředí výroby není zahřívání fotorezistu jen dalším krokem v procesu – jedná se o důležitý termální proces. I odchylka o 2 °C během měkkého nebo...

Na výrobní hale není pečení fotoresistu jen další krok. Je to brána. Jedno výkyv teploty, jeden částicový incident a můžete ztratit mnoho waferů....