Na podložce SEM může nenápadný posun vzorku nebo nestabilní profil vypálení fotorezistu tichým způsobem snižovat vaši výtěžnost. Teplotní odchylky, které na displeji vypadají malé, se promění v chyby šířky čáry a artefakty způsobené nabíjením, jež se projeví až o několik hodin později. Naše infračervené ohřívače SEM jsme navrhli tak, aby eliminovaly tento drift přímo u zdroje.
Co je technicky podstatné
Používáme krátkovlnné infračervené záření k vytvoření podmilimetrového tepelného pole s úzkou a rovnoměrnou teplotou po celé aktivní zóně. V praxi to znamená řízení teploty na úrovni waferu, která zůstává v úzkém pásmu, takže profily soft bake i hard bake se opakují bez vzniku horkých míst nebo nedostatečného propečení okrajů. Odezva je rychlá, takže při změně nastavených hodnot se systém rychle ustálí a zachovává opakovatelnost v každém cyklu. Konstrukce je určena pro provoz v čistém prostředí a materiály i zpracování minimalizují tvorbu částic.
Proč toto funguje pro kontroly a metrologii blízkou litografii
Teplotní historie musí být konzistentní. Stabilní a rovnoměrný tepelný profil snižuje variabilitu CD, zlepšuje opakovatelnost obrazu a omezuje zmetkovitost způsobenou teplotní nerovnoměrností. Zkracují se časy zahřívání, je méně opakovaných výpalů a lze plánovat přesné cykly. Spotřeba energie klesá, protože ohřívač rychle dosáhne nastavené teploty a efektivně ji udržuje. Spolehlivost je navržena pro nepřetržitý provoz 24/7 s menším počtem neplánovaných výpadků.
Co je třeba vědět předem
Instalace závisí na kompatibilitě podložky a prostoru pro montáž. Ohřívač musí být přesně zarovnán s rovinou vzorku, aby se zachoval rovnoměrný tepelný profil. Počítejte s rychlým uvedením do provozu, kdy doladíte emisivitu a rychlost skenování podle konkrétní skladby vzorku. Jakmile je nastavení dokončeno, běží systém s minimální údržbou, ale pokud dojde ke změnám v geometrii podložky nebo povrchových vrstvách, bude nutné tepelnou mapu znovu ověřit.