http://ir-heat-lamp-pro.com/bn/tags/%E0%A6%B8%E0%A6%BF%E0%A6%8F%E0%A6%AE%E0%A6%AA%E0%A6%BF/ Recent content in সিএমপি on Professional IR Heating Lamps Hugo bn Mon, 29 Jun 2026 07:06:42 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/bn/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:06:42 +0800 http://ir-heat-lamp-pro.com/bn/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-lamp-pro.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="CMP এর পর ওয়েফার শুকানোর জন্য হিটার"></p> <p>CMP-এর পরের ধোয়ার প্রক্রিয়ায় অতিসূক্ষ্ম ফোঁটাগুলো থেকে যায়। যদি শুকানোর প্রক্রিয়াটি ভুল হয়ে যায়, তাহলে এগুলো ত্রুটিতে পরিণত হয়। তাপমাত্রা এক ডিগ্রি পরিবর্তিত হলেই ফটোরেজিস্টের আচরণ পরিবর্তিত হয়ে যায়। উত্তপ্ত অবস্থায় কণা উৎপন্ন হলে উৎপাদন কমে যায়। তাই প্রয়োজন হয় এমন তাপমাত্রা, যা নির্ধারিত সীমার মধ্যে থাকে এবং যা পরিষ্কার থাকে।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা CMP-এর পরের প্রক্রিয়ার জন্য এই হিটারটি তৈরি করেছি। হ্যালোজেন ল্যাম্পগুলো দ্রুত ও স্থিতিশীল প্রতিক্রিয়া দেয়; আর কোয়ার্টজ উইন্ডোগুলো চেম্বারকে ল্যাম্প থেকে আলাদা রাখে, ফলে কণার সংখ্যা কম থাকে। ওয়েফারের উপর তাপমাত্রার একঘেয়েতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর রান-টু-রান পুনরাবৃত্তির ক্ষেত্রে এটা ±0.2°C এর চেয়ে ভালো। সফট বেক ও হার্ড বেক উভয় ক্ষেত্রেই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয়, যাতে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন ও প্রোফাইল অপরিবর্তিত থাকে। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এর জন্য উপযুক্ত; আর প্রতিটি উপাদান নির্বাচন করা হয়েছে যাতে গ্যাস নির্গমন ও অন্যান্য সমস্যা কম হয়। পাওয়ার সরবরাহটি প্ল্যাটফর্মের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; আর ইন্টারফেসটি এমনভাবে তৈরি করা হয়েছে যাতে এটা বিদ্যমান টুলগুলোর साथ সহজেই সংযুক্ত হয়।</p>