在光刻工序中，我们都知道，烘烤过程并不仅仅是简单的加热而已——它实际上直接影响产品的良率。如果软化烘烤时的温度出现2°C的波动，那么就会立即导致CDU值发生变化。而如果是硬质烘烤的话，那就会造成严重的缺陷，从而降低芯片的良率。因此，我们设计了可控气氛烘烤灯，以此来消除这些不确定性。 关键所在 该烘...

在光刻工序中，所谓的“软烘烤”并非简单的预热步骤。实际上，它是一种关键的处理步骤：它能确保光刻胶的厚度保持稳定，去除其中的溶剂，同时为后续的工艺流程奠定基础。一旦照明灯的性能下降，很快就能察觉出来——比如在晶圆边缘出现不均匀现象，或者在不同区域出现温度差异，这些都会导致晶圆损坏，而此时检测系统还无...