半导体洁净室推车式加热器

在光刻工厂里，您应该知道，光阻托盘上的温度变化会迅速导致线宽出现偏差。只要有一次不稳定的加热过程，就可能导致整批产品报废。因此，我们设计了专用的洁净室用加热器，以消除这种波动。该加热器能够将整批产品的温度保持在恒定状态，这样，每次加热时，光阻所受到的热处理条件都保持一致。 关键点在于： 我们使用短...