Trên bề mặt tấm silic, việc sử dụng lò nung để xử lý chất phủ quang học không phải là công đoạn có thể được coi thường. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi 1°C trong quá trình nung, điều này cũng có thể ảnh hưởng đến kích thước quan trọng của tấm silic và làm sai lệch hình dạng các bức tường bên cạnh. Khi tấm silic phải chịu tình trạng nhiệt độ không đồng đều, bạn sẽ phải trả giá bằng việc mất đi sản phẩm chất lượng cao, phải tiến hành gia công lại, hoặc thậm chí phải vứt bỏ cả lô sản phẩm đó. Chúng tôi đã thiết kế bộ sấy laser dùng cho mảng bán dẫn sao cho nhiệt độ của tấm silic được duy trì ở mức ±0,1°C; đây chính là mức độ chính xác mà quy trình sản xuất yêu cầu.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình nung
Chúng tôi sử dụng nguồn laser NIR với hệ thống điều khiển vòng khép kín, nhờ đó nhiệt lượng được truyền đi một cách nhanh chóng và chính xác, tránh tình trạng nóng quá mức ở một điểm cụ thể trên tấm silic. Kết quả là nhiệt độ trong khu vực nung được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ chính xác này được giữ ổn định ở mức ±0,05°C từ lô sản phẩm này sang lô sản phẩm khác. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động trong các phòng sạch từ loại 1 đến loại 100; các vật liệu và bề mặt được chọn lựa kỹ lưỡng để tránh sự hình thành các hạt bụi trong suốt quá trình nung và làm mát. Dòng điện cung cấp cho thiết bị luôn ổn định, với thời gian hoạt động lên đến 5.000 giờ mà tỷ lệ suy giảm hiệu suất chỉ dưới 5%.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quá trình xử lý chất phủ quang học?
Độ chính xác về nhiệt độ là yếu tố then chốt để kiểm soát quá trình loại bỏ dung môi, quá trình liên kết các phân tử, và cuối cùng là khả năng chống lại quá trình ăn mòn. Với bộ sấy laser này, bạn có thể kiểm soát chính xác nhiệt độ trong từng bước nung, từ đó giảm thiểu sự biến đổi kích thước của tấm silic và kiểm soát độ nhám của các đường viền trên bề mặt tấm silic. Bạn cũng có thể rút ngắn thời gian nung nhờ vào khả năng phản ứng nhiệt nhanh, tiết kiệm năng lượng nhờ việc kiểm soát chính xác dòng điện, và giảm thiểu các sự cố cần sửa chữa. Thiết bị này có thể được tích hợp trực tiếp vào các hệ thống hiện có, giúp bạn duy trì hiệu suất sản xuất trong khi vẫn kiểm soát chặt chẽ quy trình sản xuất.
Những điều bạn cần lưu ý khi lắp đặt
Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo rằng đường đi của ánh sáng được căn chỉnh chính xác, đồng thời kiểm tra xem hệ thống thoát khí và làm mát có tương thích hay không. Bộ sấy hoạt động tốt nhất khi điều kiện ở mặt sau của tấm silic được duy trì ổn định – bất kỳ sự thay đổi nào về lớp phủ, chất cặn, hay sự biến dạng của tấm silic đều có thể ảnh hưởng đến khả năng truyền nhiệt. Bạn nên lập kế hoạch thực hiện một vài lần thử nghiệm để xác định chi tiết về độ cong của nhiệt độ trên tấm silic, từ đó điều chỉnh hệ thống điều khiển sao cho phù hợp với tốc độ sản xuất của bạn.