Trên sàn SEM, một bàn mẫu bị trôi hoặc một hồ sơ nướng photoresist không ổn định sẽ âm thầm làm giảm năng suất của bạn. Những biến động nhiệt độ trông có vẻ nhỏ trên màn hình hiển thị sẽ biến thành lỗi độ rộng đường và các hiện tượng nạp điện xuất hiện sau vài giờ. Chúng tôi đã chế tạo các bộ gia nhiệt hồng ngoại SEM của mình để loại bỏ hiện tượng trôi ngay từ nguồn gốc.
Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng hồng ngoại sóng ngắn để tạo ra một trường nhiệt dưới 1 milimét với độ đồng nhất chặt chẽ trong vùng hoạt động. Trên thực tế, điều này chuyển thành kiểm soát nhiệt độ ở mức wafer mà vẫn giữ trong một băng tần chặt chẽ—do đó, các hồ sơ nướng mềm và nướng cứng của bạn sẽ lặp lại mà không có điểm nóng hoặc cạnh chưa được nướng đủ. Phản ứng nhanh, vì vậy khi bạn thay đổi điểm đặt, hệ thống ổn định nhanh chóng và giữ được tính lặp lại từ lần chạy này sang lần chạy khác. Nó được thiết kế để sử dụng trong phòng sạch, với vật liệu và cấu trúc giúp giảm thiểu sự phát sinh hạt.
Tại sao điều này hiệu quả trong kiểm tra và đo lường liền kề lithography
Lịch sử nhiệt phải nhất quán. Một hồ sơ nhiệt ổn định, đồng nhất cắt giảm độ biến thiên CD, cải thiện tính lặp lại hình ảnh và giảm lãng phí do sự không đồng nhất về nhiệt. Bạn có thời gian khởi động ngắn hơn, ít phải nướng lại hơn và thời gian chu kỳ mà bạn có thể lập kế hoạch xung quanh. Mức tiêu thụ năng lượng giảm vì bộ gia nhiệt đạt điểm đặt và giữ nó một cách hiệu quả, và độ tin cậy được thiết kế cho hoạt động 24/7 với ít sự dừng không dự kiến.
Những gì bạn cần biết ngay từ đầu
Việc lắp đặt phụ thuộc vào sự tương thích của bàn mẫu và khoảng cách. Bộ gia nhiệt phải căn chỉnh chính xác với mặt phẳng mẫu để giữ cho hồ sơ đồng nhất đó được intact. Bạn hãy chuẩn bị cho một bước đưa vào nhanh chóng để điều chỉnh độ phát xạ và tốc độ quét cho cụm mẫu cụ thể của bạn. Khi đã căn chỉnh, nó hoạt động với bảo trì tối thiểu, nhưng nếu bạn thay đổi bất kỳ điều gì trong hình học của bàn hoặc lớp phủ, bạn sẽ cần xác minh lại bản đồ nhiệt.