Trên sàn sản xuất, bước nung photoresist không chỉ đơn thuần là một bước. Đây là cánh cổng kiểm soát. Một lần sai nhiệt độ, một sự kiện bụi hạt, có thể làm mất nhiều wafer. Chúng tôi đã chế tạo một lớp chắn bằng thủy tinh thạch anh dành cho đèn fab để giữ cho cánh cổng này luôn đóng, ca này qua ca khác.
Điều quan trọng bên trong
Lớp chắn làm từ thủy tinh thạch anh nóng chảy có độ tinh khiết cao, được lựa chọn vì sự truyền dẫn ổn định trong dải hồng ngoại sóng ngắn và sóng trung, đồng thời giảm phát thải trong không khí phòng sạch. Lớp chắn giữ cho công suất đèn ổn định trong khi bảo vệ dây tóc và hệ quang học khỏi sự thay đổi lớp phủ và bụi bẩn. Trên toàn bộ tấm wafer, độ đồng đều nhiệt được duy trì chặt chẽ, giúp cửa sổ nung mềm và nung cứng giữ đúng thông số với kiểm soát hồ sơ có thể tái lặp. Thiết bị hoạt động trong môi trường Class 1–100 mà không làm tăng số lượng bụi hạt, và thiết kế chịu được chu kỳ nhiệt nhanh mà không gây nứt vi mô.
Lý do nó được áp dụng trong cell lithography chạy liên tục 7×24
Sự cố dừng đèn bất ngờ phá hỏng kế hoạch sản xuất và tỉ lệ phế phẩm mà bạn đã kiểm soát. Lớp chắn này khắc phục một trong những nguyên nhân hỏng hàng đầu. Hiệu quả đạt được là không có thời gian chết không kế hoạch, tuổi thọ đèn kéo dài, và nhiệt độ nung được duy trì trong giới hạn theo từng chu trình. Giảm tần suất thay đèn. Kích thước quan trọng ổn định. Và chi phí trên mỗi wafer được giảm xuống. Bạn còn tiết kiệm năng lượng vì lớp chắn nâng cao hiệu suất truyền năng lượng và giảm thiểu tổn thất nhiệt.
Những chi tiết giữ cho thiết bị vận hành ổn định
Việc lắp đặt phải khớp chính xác với hình học của đèn và phản xạ. Sai lệch chỉ vài mm có thể gây điểm nóng và phá vỡ độ đồng đều. Trước khi nâng cấp, cần kiểm tra kiểu đầu nối, kích thước vỏ đèn và luồng khí làm mát. Cần xử lý bề mặt thủy tinh thạch anh cẩn thận—chỉ lau bằng dụng cụ và dung môi được phép trong phòng sạch. Trầy xước làm tán xạ ánh sáng và nhanh chóng phá vỡ độ đồng đều. Khi kết hợp đúng với đèn và quy trình phù hợp, lớp chắn vận hành liên tục mà không cần thay thế định kỳ, chỉ cần kiểm tra vệ sinh thường xuyên.