لیتھوگرافی کے عمل میں، ہم دونوں جانتے ہیں کہ بیکنگ کے اقدامات صرف حرارتی عمل ہی نہیں ہیں؛ بلکہ یہ پروڈکشن کی کارکردگی کو متاثر کرنے والے عوامل بھی ہیں۔ 2°C کی تبدیلی سے فوراً CDU میں تغیرات ظاہر ہو جاتے ہیں۔ جبکہ “ہارڈ بیکنگ” کی صورت میں، یہ ایک خطرناک عمل ہے جس سے ویفر کی کارکردگی متاثر ہو جاتی ہے۔ ہم نے “کنٹرولڈ ایٹموسفیر بیک لیمپ” تیار کیا ہے تاکہ اس قسم کی تغیرات کو ختم کیا جا سکے۔
لیمپ کے اندر کیا اہم چیزیں ہیں؟
لیمپ، کوارٹز کے خول میں شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی پیدا کرتا ہے؛ اس طرح سطح پر تیزی سے حرارت پیدا ہوتی ہے، بغیر کسی زیادتی کے۔ بیکنگ کے عمل میں، ہم ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں، اور ہر بار کی پروسیسنگ کے دوران اس کی یکسانیت کو چیک کرتے ہیں۔ فضا کو بھی کنٹرول کیا جاتا ہے، تاکہ بیکنگ کے عمل میں کوئی تغیر نہ آئے، چاہے استعمال کیا جانے والا گیس N₂ ہو، خشک ہوا ہو، یا کم آکسیجن والا مرکب ہو۔
کلین روم کی سہولیات کیا ہیں؟
کلین روم کی سہولیات شروع سے ہی موجود ہیں؛ کلاس 1-100 کے معیار پر کام کیا جاتا ہے، اور لیمپ سے کوئی ذرہ باہر نہیں نکلتا۔ حرارتی نظام 24/7 کام کرنے کے لئے تیار کیا گیا ہے، اور ہم 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے عرصے میں اس کی کارکردگی کی نگرانی کرتے ہیں۔
فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
درجہ حرارت کی درستگی، پروڈکشن کی کارکردگی کے لئے بہت اہم ہے۔ اس سے CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، ناقص پروڈکشن کم ہوتی ہے، اور فلم کی موٹائی بھی مستحکم رہتی ہے۔ اس طرح پروسیسنگ کے دوران کوئی مشکلات نہیں پیش آتیں۔
توانائی کی کھپت کیا ہے؟
توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے؛ درجہ حرارت جلد ہی مطلوبہ سطح پر پہنچ جاتا ہے، اور پھر وہیں برقرار رہتا ہے۔ اس طرح بندش کا وقت بھی کم ہوتا ہے، کیوں کہ لیمپ بغیر کسی مشکل کے کام کرتا ہے۔
کن چیزوں کی منصوبہ بندی ضروری ہے؟
لیمپ کے لئے الگ سے بجلی کی فراہمی اور گیس کی سپلائی ضروری ہے، تاکہ یہ آلہ درست طریقے سے کام کر سکے۔ انسٹالیشن تو آسان ہے، لیکن جب بھی ویفر کا سائز، ریزسٹ کیمیکل یا بیکنگ کے طریقے میں تبدیلی ہوتی ہے، تو بیکنگ پروفائل کی دوبارہ جانچ ضروری ہے۔ پروڈکٹس کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے لئے، کچھ وقت لگتا ہے۔