300 mm hattında, spin kurutucu döngüsü sona erdiğinde wafer hâlâ ıslak kalır—özelliklerde su kalır, kenarlarda su damlacıkları oluşur. Geleneksel bir...

Fabrika katında, litografi kümesi durmadan çalışıyor, durdurma düğmesi yok. Track wafer’ı besliyor, rezist dönüyor, kenar boncuğu temizleniyor ve...