На полу SEM колеблющаяся платформа образца или нестабильный профиль отжига фотопластики тихо снижают ваш выход. Температурные колебания, которые выглядят незначительными на индикаторе, превращаются в ошибки ширины линии и артефакты зарядки, которые проявляются через несколько часов. Мы разработали наши инфракрасные обогреватели SEM, чтобы устранить это колебание на источнике.
Что важно с технической точки зрения
Мы используем инфракрасное излучение коротковолнового диапазона для создания термического поля с подмиллиметровой однородностью по всей активной зоне. На практике это означает контроль температуры на уровне пластины, который остается в узком диапазоне, что позволяет повторять профили мягкого и жесткого отжига без горячих точек или недостаточно прогретых краев. Ответ системы быстрый, поэтому, когда вы изменяете заданные параметры, система быстро стабилизируется и сохраняет повторяемость от запуска к запуску. Она предназначена для использования в чистых помещениях, с материалами и конструкцией, которые снижают образование частиц.
Почему это работает в инспекции и метрологии, связанных с литографией
Тепловая история должна быть последовательной. Стабильный, однородный тепловой профиль снижает изменчивость CD, улучшает повторяемость изображений и уменьшает количество брака, вызванного термической неоднородностью. Вы получаете более короткие окна разогрева, меньше повторных отжигов и циклы, на которые можно планировать. Потребление энергии снижается, потому что обогреватель быстро достигает заданной температуры и эффективно ее поддерживает, а надежность спроектирована для работы 24/7 с меньшим количеством незапланированных остановок.
Что вам нужно знать заранее
Установка зависит от совместимости платформы и зазора. Обогреватель должен точно выровняться с плоскостью образца, чтобы сохранить однородный профиль. Ожидайте быструю этап комиссования для настройки эмисссивности и скорости сканирования для вашего конкретного набора образцов. После выравнивания он работает с минимальным обслуживанием, но если вы измените что-либо в геометрии платформы или покрытиях, вам потребуется повторно проверить тепловую карту.