Na linii produkcyjnej termiczne odchylenia podczas obróbki ogniwa baterii typu solid-state nie są jedynie danymi na wykresie. Powodują marnotrawstwo płytek krzemowych, obniżają efektywność procesu oraz utrudniają planowanie pracy. Czas trwania procesów hartowania fotorezystu jest bardzo krótki, a interfejsy między warstwami materiałowymi wymagają idealnej stałości temperatury. Jeśli grzałka nie jest w stanie utrzymać jednakowej temperatury na całej powierzchni podłoża, efektywność produkcji spada.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia Tworząc tę grzałkę do obróbki ogniwa baterii typu solid-state, skorzystaliśmy z źródeł promieniowania podczerwonego krótkiego rozmiaru (NIR) umieszczonych w modułach termicznych opartych na kwarcu. Dzięki temu uzyskujemy jednakowość temperatury na poziomie ±0,1°C na całej aktywnej powierzchni płytki krzemowej, przy stabilności temperatury na poziomie ±0,2°C w czasie trwania procesu. Kontrola tempa wzrostu temperatury wynosi 1°C/s, co zapewnia precyzyjne realizowanie procedur obróbki.
Grzałka nadaje się do używania w pomieszczeniach o czystości klasa 1–100. Jej praca jest wolna od problemów związanych z tworzeniem się cząstek – przy stałej pracy liczba cząstek nie przekracza 1 cząstki na ft³ przy rozmiarze cząstek 0,1 µm. Dwudziestoczterogodzinna praca jest możliwa dzięki podwójnemu systemowi kontroli oraz długotrwałej żywotności urządzenia – ponad 50 000 godzin. W razie konieczności serwisu, modułowe lampy i zamienniki umożliwiają uniknięcie przerw w produkcji.
Dlaczego to działa efektywnie W liniach litograficznych ta sama grzałka służy do hartowania fotorezystu z taką samą dokładnością, więc nie jest potrzebna druga grzałka. Przejście pomiędzy różnymi procesami obróbki jest szybsze, a nie ma już potrzeby dopasowywania różnych profili temperaturowych. W przypadku ogniw baterii typu solid-state grzałka sprawia, że warstwy graniczne dobrze się łączą, a cienkie warstwy nie mają problemów z temperaturą. To zapewnia stabilność rezystancji szeregowej i zmniejsza ryzyko delaminacji.
Użyteczność energetyczna jest wysoka, ponieważ promieniowanie NIR dociera bezpośrednio do celu, a nie do ścian komory. Mniej zużytych produktów i mniej konieczności kalibracji sprawiają, że wydajność pozostaje stała z shiftu na shift.
Co warto wiedzieć Grzałka pasuje do standardowych systemów sterowania za pomocą protokołów RS-485 i SECS/GEM. Jej rozmiary odpowiadają standardowym platformom. Od momentu uruchomienia potrzebuje około 3–5 minut, aby osiągnąć stabilną temperaturę. Należy uwzględnić ten czas podczas planowania prac na linii produkcyjnej.
Kompatybilność z urządzeniami EMC jest doskonała, dlatego należy mieć na uwadze poprawne ukierunkowanie i zabezpieczenie kabli o dużej przepustowości prądu. To zapobiega przenikaniu szumów do sąsiednich urządzeń.