Na podłożu litologicznym nie można pozwolić sobie na żadne kompromisy przy obróbce fotorezystu. Nawet niewielka różnica temperatury wynosząca 1°C podczas procesu nagrzewania może wpłynąć na kluczowe wymiary elementów płytki oraz naruszyć jej strukturę boczną. A jeśli płytkę dotknie nierównomierność termiczna, to skutki będą poważne – spadek jakości produkcyjnej, konieczność ponownej obróbki, a nawet wyrzucenie całych partii produktów. Nasze urządzenia do ogrzewania diod laserowych są zaprojektowane tak, aby utrzymywać temperaturę płytki w zakresie ±0,1°C – to właśnie jest granica, jaką dopuszcza proces produkcji.
Co jest najważniejsze? Używamy źródeł światła laserowego typu NIR z kontrolą zamkniętym obwodem, dzięki czemu ciepło jest dostarczane szybko i lokalnie, bez tworzenia gorących punktów na powierzchni płytki. Dzięki temu uzyskujemy jednorodność temperatury w zakresie ±0,1°C w całej strefie nagrzewania, a powtarzalność wynosi ±0,05°C pomiędzy poszczególnymi partiami produktów. Urządzenie jest przystosowane do pracy w pomieszczeniach o czystości od Klasy 1 do Klasy 100. Wybrane materiały i powierzchnie zapewniają brak pyłków podczas procesu nagrzewania i chłodzenia. Przepływ mocy pozostaje stabilny przez całą dobę – nasze urządzenia pracują już ponad 5 000 godzin bez spadku wydajności poniżej 5%.
Dlaczego to jest ważne w procesie obróbki fotorezystu? Precyzja temperatury ma kluczowe znaczenie dla procesu usuwania rozpuszczalników, tworzenia wiązań między molekułami oraz dla odporności na procesy etchingu. Dzięki grzejnikowi z diodą laserową można utrzymać stałą temperaturę na każdym etapie procesu, co zmniejsza zmienności wymiarów elementów płytki i ułatwia kontrolę ich jakości. Ponadto dzięki szybkiej reakcji termicznej skracają się czasы procesu nagrzewania, zmniejsza się zużycie energii, a także zmniejszają się przerwy w produkcji. Urządzenie można łatwo integrować z istniejącymi modułami do nakładania warstw i nagrzewania, dzięki czemu można zachować aktualną sprawność procesu przy jednoczesnym lepszym kontrolowaniu jego parametrów.
Co należy uwzględnić przy planowaniu? Instalacja polega na ustawieniu optycznej ścieżki światła oraz sprawdzeniu kompatybilności systemów wentylacyjnych i chłodzących. Grzejnik funkcjonuje najlepiej, gdy warunki na tylnej stronie płytki są stałe – warstwy, resztki lub odkształcenia mogą wpłynąć na efektywność procesu nagrzewania. Należy więc uwzględnić te faktory w procesie planowania. Zaleca się przeprowadzenie krótkiego testu, aby sprawdzić profile temperatury dla konkretnych płytek i dostosować system kontroli do szybkości produkcji.