웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

웨이퍼 가공 과정에서의 전력 및 탄소 배출량 줄이기 솔직히 말해서, 반도체 공장들은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 탄소 발자국을 줄이고 싶다면, 웨이퍼를 가열하는 방식에 주목해야 합니다. 오랫동안 우리는 저항식 히터를 사용해왔습니다. 문제는, 이 방식에서는 웨이퍼...