Hentikan risiko kerusakan akibat lampu yang meledak: Jaga kebersihan wafer Anda ketika lampu rusak
Dalam sistem semikonduktor yang beroperasi dengan beban tinggi, ledakan lampu inframerah merupakan bencana yang sangat merugikan. Ketika tabung kuarsa tersebut rusak, ia tidak hanya berhenti memancarkan panas, tetapi juga meledak. Akibatnya, serpihan kaca dan zat kimia akan jatuh ke permukaan wafer. Hal ini tentu saja akan merusak kualitas wafer tersebut.
Kami telah menghabiskan banyak waktu untuk mencari cara untuk mencegah risiko tersebut sebelum ia terjadi.
Mengapa tabung kuarsa bisa patah?
Sebagian besar lampu patah karena panas yang dihasilkan tidak tersebar secara merata. Ketika daya yang digunakan sangat tinggi, bagian tengah tabung akan menjadi sangat panas, sementara ujung-ujungnya tetap relatif dingin. Tekanan inilah yang menyebabkan tabung patah.
Untuk mengatasi hal ini, kami menggunakan kuarsa sintetis berkualitas tinggi. Kuarsa jenis ini tidak akan mengalami pemuaian atau penyusutan yang signifikan, sehingga tabung dapat bertahan meski mengalami perubahan suhu yang drastis. Dengan demikian, tabung tidak akan mengalami retakan kecil yang pada akhirnya dapat menyebabkan kerusakan.
Metode “jaring pengaman”
Tetapi mari kita realistis: komponen-komponen tersebut tetap bisa rusak. Oleh karena itu, kami tidak hanya mengandalkan kuarsa saja untuk melindungi wafer. Kami menambahkan lapisan pelindung tambahan, yaitu lapisan pelindung yang berfungsi sebagai perisai sekitar elemen pemanas. Jika lampu di dalamnya meledak, lapisan pelindung ini akan menahan semua serpihan tersebut. Dengan demikian, wafer tetap bersih.
Selain itu, ada juga penutup ujung tabung. Jika sambungan antara tabung dan komponen lainnya lemah, gas akan bocor, sehingga filamen lampu akan cepat rusak. Kami melakukan pengujian vakum pada setiap sambungan untuk memastikan bahwa atmosfer di dalam tabung tetap terjaga selama ribuan jam.
Kompromi yang harus diterima
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan. Dengan adanya lapisan pelindung antara sumber panas dan wafer, maka transmisi sinar inframerah akan berkurang sedikit. Anda mungkin perlu menyesuaikan pengaturan daya atau memberikan waktu yang lebih lama agar wafer mencapai suhu yang diinginkan.
Ini hanyalah penyesuaian kecil saja dalam proses produksi. Namun, dibandingkan dengan biaya yang harus dikeluarkan untuk membuang seluruh batch wafer yang terkontaminasi, hal ini tentu merupakan pilihan yang lebih baik.