क्लास 100 के स्वच्छ कमरे को वास्तव में स्वच्छ ही रखना आवश्यक है।
जब क्लास 100 वाले वातावरण में किसी सामग्री को गर्म किया जाता है, तो वहाँ कोई भी त्रुटि स्वीकार्य नहीं है। थोड़ी सी धूल या वाष्पीकृत गैसें भी पूरे उत्पादन प्रक्रम को बर्बाद कर सकती हैं।
समस्या यह है कि अधिकांश सामान्य इन्फ्रारेड लैंपों में सूक्ष्म कण होते हैं; ऐसे लैंप गर्म होते ही वे कण बाहर निकल जाते हैं, या वे विषाक्त वाष्पीय यौगिक भी उत्सर्जित करते हैं। हमने इस समस्या का समाधान अत्यधिक शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करके ही निकाला।
सिंथेटिक क्वार्ट्ज क्यों महत्वपूर्ण है?
हमने प्राकृतिक क्वार्ट्ज के बजाय उच्च शुद्धता वाले सिंथेटिक सिलिका का उपयोग किया। प्राकृतिक क्वार्ट्ज में ऐसे धात्विक अशुद्धियाँ होती हैं, जो गर्म होने पर सतह पर आ जाती हैं। ऐसी स्थिति में लैंप से धुआँ निकलने लगता है, जो वेफरों के लिए बहुत ही हानिकारक है।
इस समस्या से बचने हेतु, हमारे UHP लैंपों को कठोर रासायनिक प्रक्रियाओं से शुद्ध किया जाता है। ऐसे में लैंप में कोई भी अशुद्धता नहीं रह जाती। इससे लैंप की लेंसें साफ रहती हैं, एवं वेफर भी शुद्ध ही रहते हैं।
सीलिंग का महत्व
अधिकांश लैंपों में सीलिंग संबंधी समस्याएँ होती हैं। कई निर्माता सस्ते चिपकने वालों का उपयोग करते हैं, लेकिन ऐसे चिपकने वाले गर्म होते ही वाष्पीकृत हो जाते हैं।
हम ऐसा नहीं करते। हम उच्च तापमान वाली ग्लास-टू-मेटल सीलिंग का उपयोग करते हैं। ऐसी सीलिंग लैंप के अंदर की हैलोजन गैसों को बाहर आने से रोकती है। हम इन लैंपों को उसी रैक में लगा सकते हैं, जिसका उपयोग हम पहले से कर रहे हैं… लेकिन वास्तविक चमत्कार तो लैंप की आंतरिक रासायनिक संरचना में ही होता है।
कुछ चेतावनियाँ
UHP क्वार्ट्ज रासायनिक रूप से निष्क्रिय है, लेकिन सतह पर मौजूद तेलों के प्रति यह बहुत ही संवेदनशील है।
यदि लैंप को लगाते समय कोई व्यक्ति अपने नंगे हाथों से उसे छूता है, तो उसकी त्वचा से निकलने वाले तेल/लवण “हॉट स्पॉट” बना देते हैं। ऐसे हॉट स्पॉट ऊष्मा संबंधी समस्याओं का कारण बनते हैं, जिससे लैंप टूट सकता है। ऐसी स्थिति से बचने हेतु, सभी लोगों को लिन्ट-फ्री दस्ताने पहनने चाहिए, एवं आइसोप्रोपाइल अल्कोहल से ही लैंप की सफाई करनी चाहिए।
इसके अलावा, लैंप के शीतलन प्रणाली पर भी ध्यान देना आवश्यक है… क्योंकि ऐसे लैंपों में ऊर्जा का प्रवाह बहुत ही अधिक होता है। ऐसी स्थिति में लैंप के कूलिंग फैनों/वॉटर जैकेटों की जाँच जरूर करें। यदि लैंप का आवरण अत्यधिक गर्म हो जाए, तो समस्या हो सकती है।