ברצפת ה-SEM, שלב דגימה שמזיז מחליקה או פרופיל אפיית פוטורזיסט לא יציב יאכל לכם בשקט את התפוקה. סטיות טמפרטורה שנראות קטנות בתצוגה מתבטאות בשגיאות רוחב קווים ובתופעות טעינה שמופיעות שעות אחר כך. בנינו את מחממי ה-SEM בתת-אדום שלנו כדי לנטרל את ההזזה הזאת מהשורש.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
אנחנו משתמשים בתת-אדום קצר גל כדי ליצור שדה תרמי תת-מילימטרי עם אחידות הדוקה לאורך אזור הפעילות. בפועל, זה מתורגם לבקרת טמפרטורה ברמת הפיתול (wafer) שנשארת בטווח הדוק — כך שפרופילי ה-soft bake וה-hard bake חוזרים על עצמם ללא נקודות חמות או קצוות שלא נאפו מספיק. התגובה מהירה, ולכן כשמשנים נקודות הקבע, המערכת מתייצבת מהר ומבטיחה חזרתיות ריצה אחרי ריצה. היא מיועדת לשימוש בחדר נקי, עם חומרים ובנייה שמפחיתים יצירת חלקיקים.
למה זה עובד בבדיקת סמיכות ומטרולוגיה קרובות לליתוגרפיה
ההיסטוריה התרמית חייבת להיות עקבית. פרופיל חום יציב ואחיד מפחית שונות ב-CD, משפר חזרתיות של דימות ומקטין פסולת הנובעת מאי-אחידות תרמית. מקבלים חלונות חימום קצרים יותר, פחות אפיות חוזרות, וזמני מחזור שניתן לתכנן סביבם. שימוש האנרגיה יורד כי המחמם מגיע לנקודת הקבע ומשמר אותה ביעילות, והאמינות מתוכננת לפעולה 24/7 עם פחות עצירות לא מתוכננות.
מה שצריך לדעת מראש
ההתקנה תלויה בהתאמת הבמה ובמרווחים. המחמם חייב להיות מיושר במדויק למישור הדגימה כדי לשמור על פרופיל האחידות. יש לצפות לשלב הכנה מהיר לכיוון פליטת האנרגיה (emissivity) ומהירות הסריקה בהתאם לערימת הדגימות הספציפית שלכם. לאחר יישור, המערכת פועלת עם תחזוקה מינימלית, אך אם תשנו משהו בגאומטריית הבמה או בציפויים, יהיה צורך לאמת מחדש את המפה התרמית.