Verhindern Sie eine Überhitzung Ihrer Halbleiterwerkzeuge
Wenn Sie schon einmal Hochleistungsheizgeräte in einen engen Schrank gesetzt haben, kennen Sie das Problem. Es handelt sich dabei um einen ständigen Kampf gegen die Hitzeentwicklung.
Standardmäßige Infrarotlampen sind im Grunde genommen Lichtbirnen auf Steroiden – sie strahlen Energie in alle Richtungen ab. Die Hälfte dieser Wärme trifft zwar auf das Werkstück, aber die andere Hälfte erwärmt den Inneren des Geräts. Dadurch entstehen verbrannte Oberflächen sowie ein Chassis, das viel zu heiß ist, um es sicher berühren zu können. Das ist wirklich chaotisch.
Die Hitze gezielt lenken
Wir lösen dieses Problem, indem wir die Hitze gezielt lenken. Anstatt einfach nur eine gewöhnliche Quarztube zu verwenden, nutzen wir spezielle Reflektoren sowie digitale Steuerungen, um den Strahl gezielt auszurichten.
Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einem Strahlenschauerlicht auf eine Taschenlampe vor. Wenn man die Energie genau dorthin lenkt, wo sie benötigt wird, funktioniert das Chassis nicht mehr wie eine „Riesen-Sponge“ für Wärme. Das Werkstück erhält die benötigte Energie, während die Innenwände kalt bleiben.
Die Temperatur stabil halten
Außerdem muss die Temperatur konstant gehalten werden. Um zu verhindern, dass die Temperatur zu hoch wird, nutzen wir digitale Steuerungen, um den Leistungsfluss zu regulieren. Wir setzen dabei PID-Regelkreise ein, damit die Temperatur innerhalb von ±1°C bleibt. Bei der Arbeit mit empfindlichen Wafern oder Klebstoffen ist diese kleine Toleranz entscheidend.
Ein weiterer Tipp: Wenn Sie die Lampe ständig à 100 % betreiben, führt das dazu, dass der Glühfaden ausbrennt. Unsere Steuerungen senden stattdessen impulsweise Energie aus. Dadurch wird die Lampe geschont und die Luft im Schrank bleibt nicht so heiß.
Realitätsscheck
Gezieltes Heizen ist zwar eine Lösung – doch es gibt auch Nachteile. Da die Hitze an einem bestimmten Punkt konzentriert wird, kann das Material beschädigt werden, wenn das Werkstück auch nur leicht vom Mittelpunkt abweicht. Man muss also sehr präzise arbeiten. Es gibt keine Abkürzungen.
Noch eins: Sparen Sie nicht bei den Kabeln. Das reflektierte Infrarot kann mit der Zeit die Isolierung zerstören. Verwenden Sie daher Kabel mit PTFE-Beschichtung und hoher Wärmebeständigkeit. Glauben Sie mir: Das ist viel besser, als mit einem Kurzschluss während eines langen Produktionsprozesses konfrontiert zu werden.