Auf der Lithografiefläche wissen wir beide, dass die Trocknungsprozesse nicht nur thermischer Natur sind – sie haben auch einen Einfluss auf die Qualität der Wafer. Eine Abweichung von 2°C während des Weichtrocknungsprozesses zeigt sich sofort als Variationen im CDU-Wert. Ein Hotspot beim Harttrocknen hingegen führt zu erheblichen Qualitätsverlusten – diese werden direkt im Waferprofil sichtbar. Deshalb haben wir die Kontrollierte-Atmosphäre-Trocknungslampe entwickelt, um diese Unbeständigkeiten auszuschließen.
Was wirklich wichtig ist
Die Lampe verwendet kurzwelliges Infrarotlicht in einem Quarzkörper. Dadurch wird eine schnelle, oberflächenbasierte Erwärmung erreicht, ohne dass es zu Überhitzungen kommt. In der Trockenzonenbereich wird eine Homogenität auf dem Niveau von ±0,1°C gewährleistet. Zudem wird die Wiederholgenauigkeit pro Batch überwacht – nicht nur pro Durchlauf. Die Atmosphäre ist abgeschlossen und kontrolliert, sodass das Trocknungsprofil konstant bleibt – egal ob N₂, trockene Luft oder eine Sauerstoffreduzierte Mischung verwendet wird.
Von Anfang an ist eine saubere Umgebung gewährleistet: Betrieb in Klasse 1–100, ohne Partikelbildung durch den Lampenmodul – dies wird durch kontinuierliche Partikelzählungen bestätigt. Das Thermalsystem ist für einen 24/7-Betrieb ausgelegt. Wir überwachen außerdem die Stabilität der Leistung über 5.000 Stunden hinweg.
Warum das wichtig ist bei der Verarbeitung von Fotolacken
Genaue Temperaturkontrolle ist entscheidend, um Fehler zu vermeiden und hochwertige Wafer zu erhalten. Dadurch wird eine bessere Kontrolle über den CDWert erreicht, weniger Defekte wie Fokussierungsprobleme oder Unreinheiten entstehen. Zudem verhält sich die Filmschicht nach dem Trocknen vorhersehbar. Dadurch öffnet sich das Prozessfenster – schließlich muss man sich nicht mehr mit heißen Kanten und kalten Ecken auseinandersetzen.
Außerdem sinkt der Energieverbrauch – der Zielwert wird schnell erreicht und anschließend stabil gehalten, ohne Oszillationen. Zudem wird die Stillstandzeit verringert, da der Modul ohne unerwartete Ausfälle arbeitet. Die Wartungsarbeiten können aufgrund von Daten stattfinden – nicht aufgrund von Intuition.
Was Sie planen müssen
Die Lampe benötigt eine eigene Stromversorgung sowie einen Gaszufuhranschluss, die zur Größe des Geräts und zu seinen Anschlüssen passen. Die Installation ist einfach – doch Sie müssen das Trocknungsprofil immer wieder überprüfen, wenn sich die Größe des Wafer, die Chemie des Fotolacks oder das Trocknungsverfahren ändert. Erwarten Sie außerdem eine kurze Einarbeitungsphase, um die richtigen Einstellungen festzulegen und die Homogenität Ihres Produktportfolios zu überprüfen.