ভিজা বেঞ্চে, সেই ধোয়ার কারণে সৃষ্ট তাপীয় গ্রেডিয়েন্টগুলি নীরব ধরনের—যেগুলি নীরবে উৎপাদন কমিয়ে দেয়। সাধারণ হিটারগুলি ওয়েফারগুলি পরিষ্কারভাবে শুকাতে পারে না edge beads বা ফটোরেজিস্টে চাপ সৃষ্টি না করে। যখন তাপীয় সমতা বিঘ্নিত হয়, তখন লাইন থেমে যায়। পিরিয়ড।
সাব-মিলিমিটার তাপীয় নিয়ন্ত্রণ ইনফ্রারেড হিটিংয়ের সাথে
আমরা ধোয়ার স্তরের জন্য আমাদের জলরোধী ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলি সংক্ষিপ্ত তরঙ্গ ইনফ্রারেডের চারপাশে তৈরি করেছি, তাই তাপীয় ক্ষেত্রটি সাব-মিলিমিটার স্কেলে নিয়ন্ত্রিত। এমিটার অ্যারে দ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্য তাপমাত্রার প্রোফাইলের জন্য টিউন করা হয়েছে, সক্রিয় পৃষ্ঠের উপর ওয়েফার-স্তরের সমতা ±0.1°C এর মধ্যে ধরে রাখছে। এটি একটি ল্যাবের সংখ্যা নয়—এটি নিয়ন্ত্রিত স্পেকট্রাল আউটপুট, সঠিক ল্যাম্প-থেকে-ওয়েফার দূরত্ব এবং ক্লোজড-লুপ তাপীয় ব্যবস্থাপনা থেকে এসেছে।
বাস্তব জগতে, এর মানে হল আপনার সফট বেক এবং হার্ড বেকের শর্তগুলি সংহত থাকে, এমনকি একটি আক্রমণাত্মক ধোয়ার চক্রের পরে। ফটোরেজিস্টে কোন অপ্রত্যাশিত সমস্যা নেই।
এটি সেমিকন্ডাক্টর ধোয়ার কাজের মধ্যে কেন ধরে রাখে
ধোয়া থেকে শুকানোর পরিবর্তনের সময়, ল্যাম্পটি সেখানে জলরোধী থাকে যেখানে এটি প্রয়োজন, তাই আপনি যখন সরাসরি ওয়েফারকে গরম করছেন তখন বিদ্যুৎ নিয়ে উদ্বেগ নেই। শক্তি সেখানে পৌঁছে যেখানে আপনি চান, Fixtures এবং চারপাশের ক্লিনরুম বাতাসের তুলনায় অনেক কম প্যারাসিটিক হিটিং সহ।
ফলস্বরূপ: ছোট শুকানোর সময়, কম কণার উৎপাদন, এবং স্থিতিশীল গুরুত্বপূর্ণ মাত্রার নিয়ন্ত্রণ। তাপীয় বাজেটের পরিবর্তনশীলতা কমে যায়, বর্জ্য কমে যায়, এবং লাইন চলতে থাকে। এই ইউনিটগুলি ৫,০০০+ ঘণ্টা চলে ৫% এর কম আউটপুট হ্রাস সহ, যা ২৪/৭ অপারেশনের জন্য আপনার প্রয়োজন।
স্থাপন এবং অপারেটিং নোটস
মাউন্টিং সহনশীলতা কঠোর—যদি আপনি সমতা বজায় রাখতে চান তবে ল্যাম্পের অ্যালাইনমেন্ট ±0.2 মিমি এর মধ্যে রাখতে হবে। ল্যাম্পটি ডিইঅনাইজড পানির উপস্থিতিতে সবচেয়ে ভালোভাবে কাজ করে; শুকনো বন্দুক ব্যবহার করলে গরম স্পট সৃষ্টি হয় এবং এমিটার জীবনকাল কমে যায়।
আপনি উষ্ণীকরণের সময় একটি সামান্য উচ্চতর প্রাথমিক শক্তি টান দেখতে পাবেন, তারপর এটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যে স্থির শক্তিতে স্থির হয়ে যায়। ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে, ল্যাম্পটি নির্ধারিত নিষ্কাশন এবং শিল্ডিংয়ের সাথে যুক্ত করুন যাতে কণার নিয়ন্ত্রণ টাইট থাকে এবং তাপীয় স্থায়িত্ব যেখানে প্রয়োজন সেখানে থাকে।