على أرضية مجهر الإلكترون الماسح (SEM)، يمكن لمنصة العينة المتحركة أو ملف تعريف خبز فوتوريسست غير المستقر أن تؤثر سلبًا على نسبة الإنتاج دون أن تلاحظ ذلك فورًا. التقلبات في درجة الحرارة التي تبدو بسيطة على شاشة العرض تتحول إلى أخطاء في عرض الخطوط وتأثيرات شحن تظهر بعد عدة ساعات. نحن طورنا سخانات الأشعة تحت الحمراء لمجهر الإلكترون الماسح بهدف القضاء على هذه الانجرافات من المصدر.
ما هو المهم، من الناحية التقنية
نستخدم الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة لتوفير مجال حراري أقل من المليمتر مع توحيد دقيق عبر المنطقة النشطة. على أرض الواقع، هذا يعني تحكمًا بدرجة الحرارة على مستوى الرقاقة يظل ضمن نطاق ضيق، بحيث تتكرر ملفات التعريف الخاصة بالخبز الناعم والخَبز الصلب دون حدوث نقاط ساخنة أو نقص خبز عند الحواف. الاستجابة سريعة، لذلك عند تغيير نقاط ضبط درجة الحرارة، يستقر النظام بسرعة ويحافظ على التكرارية من تشغيل إلى آخر. تم تصميمه للاستخدام في غرف النظافة باستخدام مواد وبنية تقلل من توليد الجسيمات.
لماذا هذا يعمل في الفحص والقياس المجاور للعملية الطبوغرافية
يجب أن يكون التاريخ الحراري ثابتًا. ملف حراري مستقر وموحد يقلل من تباين أبعاد الخطوط (CD)، يحسن تكرارية الصور، ويقلل نسبة الخردة الناتجة عن عدم تجانس الحرارة. تحصل على نوافذ تسخين أقصر، عدد أقل من عمليات إعادة الخبز، وأوقات دورة يمكنك تخطيطها بدقة. ينخفض استهلاك الطاقة لأن السخان يصل إلى نقطة الضبط ويحافظ عليها بكفاءة، كما أن الاعتمادية مصممة للعمل على مدار الساعة مع تقليل التوقفات غير المخطط لها.
ما يجب أن تعرفه مقدمًا
تركيب النظام يعتمد على توافق المنصة ووجود مساحة كافية. يجب محاذاة السخان بدقة مع مستوى العينة للحفاظ على توحيد ملف الحرارة. توقع خطوة تنفيذ سريعة لضبط الانبعاثية وسرعة المسح لتناسب تكديس عينتك المحدد. بمجرد المحاذاة، يعمل النظام بصيانة محدودة، ولكن إذا قمت بتغيير أي شيء في هندسة المنصة أو الطلاءات، ستحتاج إلى إعادة التحقق من خريطة الحرارة.