في قسم عمليات الطباعة بالليثوغرافيا، نحن نعلم جيدًا أن خطوات الخبز ليست مجرد عمليات حرارية، بل هي أيضًا عوامل تؤثر على جودة المنتج النهائي. أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 2 درجة مئوية يؤدي إلى ظهور اختلافات في سمك الطبقة المطبوعة على الرقاقة. أما النقاط الساخنة أثناء عملية الخبز، فهي تؤدي إلى خسائر في جودة الرقاقة. لذلك، قمنا بتصميم مصباح الخبز ذو البيئة المتحكم بها، للتخلص من هذه المشاكل.
ما الذي يهم في الواقع؟ يعمل المصباح باستخدام أشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير، داخل غلاف من الكوارتز، بحيث يتم التحكم في درجة الحرارة بدقة، وبالتالي يتم تسخين السطح بسرعة دون حدوث أي اختلافات في درجة الحرارة. نحافظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة بمقدار ±0.1 درجة مئوية، كما نراقب استمرارية النتائج من دفعة إلى أخرى. البيئة المحيطة مغلقة ومتحكم فيها، لذلك تظل درجة الحرارة ثابتة سواء كان الهواء المستخدم هو نيتروجين أو هواء جاف أو خليط من الأكسجين.
يتم تصميم الغرفة المخصصة للعمليات بحيث تكون من الدرجة 1–100، مع عدم حدوث أي جسيمات ناتجة عن المصباح، وذلك من خلال قياس الجسيمات أثناء العمل. نظام التسخين مصمم للعمل على مدار 24 ساعة، ونراقب استقرار الأداء على مدار أكثر من 5,000 ساعة.
لماذا يُستخدم في عمليات معالجة الفوتوريزيست؟ دقة درجة الحرارة هي العامل الحاسم في تحديد جودة المنتج النهائي. يؤدي ذلك إلى تحسين جودة الطبقة المطبوعة، وتقليل العيوب مثل عدم وضوح الصورة أو وجود طبقات غير متساوية. كما أن درجة الحرارة المناسبة تساعد في الحفاظ على استقرار سمك الطبقة المطبوعة بعد عملية الخبز. بالإضافة إلى ذلك، يقل استهلاك الطاقة، حيث يتم الوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة، ثم يتم الحفاظ عليها دون أي تذبذبات. كما يقل وقت التوقف عن العمل، لأن المصباح يعمل بشكل مستمر دون أي مشاكل.
ما الذي يجب التخطيط له؟ يحتاج المصباح إلى مصدر طاقة وإمداد بالغاز مناسبين لحجم المصباح وواجهته. عملية التركيب بسيطة، لكن يجب إعادة التحقق من معايير الخبز كلما تغير حجم الرقاقة أو خصائص الفوتوريزيست أو طريقة الخبز نفسها. يجب أيضًا إجراء اختبارات قصيرة للتأكد من دقة المعايير وتوحيد درجة الحرارة على مستوى المنتجات المختلفة.